作者：宪瑞

　　在先进半导体工艺上，国内最大的晶圆代工厂中芯国际 SMIC 的 14nm 工艺已经量产，改进版的 12nm 工艺也在导入中，取得了优秀的成绩。考虑到国内半导体工艺上的落后，光指望中芯国际一家也是不行的，上海华虹集团日前透露其 14nm FinFET 工艺也全线贯通，SRAM 良率已达 25%。

　　1 月 12 日下午，，华虹集团在无锡新落成的华虹七厂研发大楼召开“开放、创新、合作—华虹集团 2020 年全球供应商迎新座谈会”，邀请了国内 30 多家、国外 50 多家供应商合作伙伴出席，华虹集团高管分享了该公司的最新进展。

　　华虹方面表示，2019 年是华虹集团产能扩张、工艺提升的关键年，该公司多个项目都取得了重要进展：

• 作为华虹集团在上海市域以外的第一个制造项目，华虹七厂于 9 月 17 日实现顺利投产，首期 1 万片产能的机台顺利串线并完成一系列工艺验证，进入正常生产阶段，创造了业界同类产线建成投产的最快记录，成为中国大陆第一条 12 英寸特色工艺产线，也是中国大陆第一条 12 英寸功率器件代工产线；
• 华虹六厂自 2018 年 10 月 18 日投产以来，产能爬坡顺利，目前已经完成月产 2 万片的装机产能；
• 华虹五厂实现连续两年盈利，年度出货量、单日作业量屡创新高；
• 华虹宏力 8 英寸特色工艺制造平台（华虹一、二、三厂）在产能规模、营运效率方面持续保持领先，并连续 9 年实现盈利。

　　华虹集团成为业界唯一一家连续两年建设并投产运营两条 12 英寸生产线的企业

　　除了产能建设之外，华虹集团在技术研发上也获得了多项重要突破，新研发的 65/55 纳米节点得射频和 BCD 特色工艺平台，处于国际先进水平；28 纳米工艺（28LP/28HK/28HKC+）均实现量产；22 纳米研发快速推进；14 纳米研发或重大进展；更先进技术节点的先导工艺研发快速部署。

　　尤其是最新一代的工艺，华虹集团总工程师赵宇航指出其 14nm FinFET 工艺已经全线贯通，SRAM 良率 25%，2020 年将快速推进。

　　这也是华虹集团首次对外公布 14nm 工艺的具体良率情况，SRAM 芯片的 25% 良率对生产来说肯定不行，但是对研发、实验来说已经是一大进步。

　　在总体进度上，华虹的 14nm 工艺肯定是不如中芯国际的 14nm 快的，后者的 14nm 工艺去年良率就达到了 95%，并已经开始进入量产阶段，比国家预定目标提前一年，现在正在产能提升及新工艺导入阶段。