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8 月 1 日消息,从海目星官方公众号获悉,其首条 Micro LED 中试线顺利出货,涵盖 Micro LED 巨量转移、Micro LED 巨量焊接、Micro LED 激光修复等设备,并已完成厂内 FAT 验收,产线效率达 25-100kk / h,制程良率达 99.99% 以上,实现≤50μm 的 Micro LED 芯片应用要求。
Micro LED 芯片巨量转移 / 单点修复转移解决方案全段采用模块化兼容设计,配合智能去除修复设备,实现整段制造流程整合,具有量产化的生产优势。
海目星应用匀化达 95% 以上的红外光源,搭配高精度温控系统、快速视觉对位与自研 AI 演算法实现大面积、高效率、高可靠性的芯⽚的巨量键合。
目前 Micro LED 巨量焊接设备已实现 12 英寸以上基板 RGB 三色焊接工艺,良率至高达 99.99% 以上 (排除来料芯片等异常)。
针对 Micro LED 制程中产生的缺陷,海目星进行胶层、芯片去除与平面度达百纳米级的焊盘修整,以利后续修补制程。经过该设备修整之后,配合后续的补芯与焊接制程,面板点亮良率可达到 99.9999%。
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