【TechWeb】10月15日消息,据国外媒体报道,已经推出了两款极紫外光刻机的阿斯麦,正在研发第三款,计划在明年年中开始出货。 ...
据国外媒体报道,三星电子新的基于极紫外光刻(EUV)技术的5nm芯片生产线,已经开始建设,投资高达81亿美元,计划在明年下半年投入运营。 ...
(文/观察者网 一鸣)3月6日下午,就中芯国际深圳厂区到货一台荷兰进口大型光刻机一事,该公司今天向观察者网证实:属常规设备导入,并非外界所关心的极紫外光刻机(EUV)。 ...

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