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英特尔宣布世界首台商用 High NA EUV 光刻机完成组装，计划明年投入研发使用

英特尔宣布世界首台商用 High NA EUV 光刻机完成组装，计划明年投入研发使用

感谢网友 华南吴彦祖 的线索投递！ 4 月 19 日消息，英特尔今日宣布其已在位于美国俄勒冈州希尔斯伯勒的 Fab D1X 研发晶圆厂完成世界首台商用 High NA（0.55NA） EUV 光刻机 ...

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